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真空とは?
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真空
(しんくう、
英語
:vacuum)は、
物理学
の概念で、
大気圧
より低い空間状態のこと。意味的には、古典論と量子論で大きく異なる。
目次
1
真空の定義
1.1
古典論における真空
1.2
量子論における真空
1.3
JISにおける真空
1.3.1
JISにおける真空の領域の区分
2
真空をめぐる歴史
3
真空状態の作り方
4
真空の測り方
5
真空内での気体の性質
5.1
気体の分子密度
5.2
マクスウェルの速度分布
5.3
平均自由行程
5.4
気体の流れ
5.5
粘性流と分子流
5.6
衝突頻度
5.7
圧力
5.8
コンダクタンス
5.9
沸点
5.10
光の透過・吸収
5.11
音の伝播
5.12
熱伝導
5.13
電気伝導
5.14
放電現象
5.15
摩擦
6
真空の利用
6.1
主に真空の清浄性、物理特性を利用したもの
6.1.1
圧力の低下(圧力差)を利用したもの
6.1.2
気体の分子密度を利用したもの
6.1.3
気体分子の平均自由行程が長くなることを利用したもの
6.1.4
分子の入射頻度を減少させ、清浄な面を長時間持続させるもの
6.1.5
液体を利用したもの
6.2
主に真空の化学特性を利用したもの
6.2.1
プラズマ反応の利用による成膜・改質
6.2.2
高速イオン注入による組成変更
6.2.3
ガス分子の分解析出による成膜
6.2.4
ガスと表面との反応による成膜・形成
6.2.5
ガスの反応による表面の除去
7
参考文献
8
関連項目
9
外部リンク
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・・・・・・・・・・・・・・・・・・
出典:wikipedia
2012/05/20 21:43
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